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        有關(guān)膜厚儀(晶控)的問答

        來源:本站  發(fā)布時間:2021-01-31 22:09:05  點擊次數(shù):485

        1,膜厚儀(晶控)如何選型?

        答:這個問題很復(fù)雜,以深圳市科銳詩汀代理的瑞士英??的ず駜x為例:

        如果僅僅需要監(jiān)測厚度,可選用SQM-160,STM-2XM,STM-3,STM-2。如果既要檢測,又要控制膜厚,可選用Cygnus 2,IC6,SQC-310,XTC/3,IQM-233。如果需要將膜厚的測控集成到自己的系統(tǒng)中去,可選用IQM-233。

        如果在意精度,那么精度最高的是Cygnus 2,其膜厚和速度分辨率達(dá)到±0.0043?,其后依次為IC6,SQC-310,XTC/3,STM-2XM,STM-3,STM-2,IQM-233,SQM-160。

        如果考慮源的數(shù)量,最多的是IC6和Cygnus 2,都能達(dá)到6個,其余型號一般是2-1個。

        如果考慮探頭數(shù)量,最多的是IC6和STM-3,都能達(dá)到8個,其次是Cygnus 2,達(dá)到6個。

        如果考慮材料數(shù)量,最多的是IC6,能達(dá)到32種,其次是XTC/3,達(dá)到9種,再次是Cygnus 2,達(dá)到6種。

        如果考慮行業(yè),OLED行業(yè)優(yōu)先選擇Cygnus 2,INFICON Modelock技術(shù)確保在非常低的速率下有最好的穩(wěn)定性;光學(xué)鍍膜行業(yè)優(yōu)先選擇IC6,每個工藝200個膜層的容納能力,使其更適合光學(xué)鍍膜工藝,例如反射膜、帶通濾光膜。AR膜等;教學(xué)科研行業(yè)可以優(yōu)先選擇XTC/3,具有能控制幾乎任何膜層數(shù)量的能力;普通鍍膜可以優(yōu)先選擇SQC-310,可連接2個探頭,2個源輸出,8個數(shù)字I/O; 共鍍膜可以優(yōu)先選擇SQC-310C,可連接4個探頭,4路PID控制輸出,16個數(shù)字?jǐn)?shù)字輸入,16個繼電器輸出; 僅需要監(jiān)測的行業(yè)優(yōu)先選用SQM-160,STM-2XM,STM-3,STM-2。

         2,兩個測量通道跟連接兩個探頭是一回事?

        答;可以這么理解。

         3,SQC 310可連接兩個探頭,有兩個源輸出,所謂兩個探頭,是每一個探頭都可以是雙探頭,或者是crystal 12那種探頭?

        答:可以這么理解。但crystal 12或crystalSix這樣的探頭每次只能有一個晶振片工作,其余的備用替補。

         4,雙探頭一次只能用一個晶振片工作嗎?

        答:雙探頭有兩種工作方式,一種類似crystal 12,每次只能有一個晶振片工作,另一種工作方式可以有兩個晶振片工作,用來比較校準(zhǔn),但要配兩個振蕩包。

         5,兩個源輸出是可以控制兩臺機器嗎?

        答:不可以,是可以控制同一個機器里兩個蒸發(fā)源,蒸鍍不同的材料。

         6,IQM 233怎么使用?客戶用什么樣的語言來編程??

        答:它也需要配震蕩包,探頭等等,插在客戶的電腦插槽里,將膜厚的監(jiān)測和控制集成到客戶自己的系統(tǒng)中去。理論上目前流行的控制類編程語言都能使用,具體情況可以咨詢深圳市科銳詩汀科技有限公司的工程師。

         7,探頭的長度是固定的嗎?

        答:一般都需要訂制,客戶根據(jù)自己設(shè)備的情況,提供探頭到法蘭的長度參數(shù),國外的工廠根據(jù)合同的參數(shù)加工。

         8,正常探頭是耐受400度高溫,可烘烤探頭是450度,好像區(qū)別不大?水冷是必須的吧?

        答:不一樣,正常探頭是可以耐受環(huán)境溫度達(dá)到400度,可烘烤探頭可經(jīng)受450度的持續(xù)烘烤。是否水冷根據(jù)設(shè)備的具體情況,一般都會采用水冷,正常探頭水冷情況下是可以耐受環(huán)境溫度達(dá)到400度,而無水冷情況下只能耐受130度,抽屜式探頭稍高,可以耐受200度,濺射型探頭甚至只能耐受105度。


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