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IMM-200薄膜沉積監(jiān)測儀

使卓越可重復(fù)，
通過精確的速率和厚度監(jiān)控來保護(hù)和增加您的利潤。
IMM-200 是一款采用 ModeLock 技術(shù)構(gòu)建的沉積監(jiān)測儀，具有最高的厚度精度、最佳的測量分辨率和最低的噪聲速率，可最大限度地提高再現(xiàn)性和均勻性。
內(nèi)置振蕩器時(shí)，IMM-200 可以輕松地集成到以太網(wǎng)系統(tǒng)中，只需極少的硬件和占用空間。這款功能強(qiáng)大且精確的測量監(jiān)視器肯定會(huì)為您的過程帶來新的性能水平。

功能

• INFICON ModeLock 技術(shù)提供最長的晶體壽命，并確保最穩(wěn)定、最高分辨率和厚度測量，即使在非常低的速率下也是如此。

• 通過最佳的 QCM 厚度測量實(shí)現(xiàn)產(chǎn)量最大化

• 單通道速率和厚度監(jiān)測儀，無需不必要的附加功能，以最大限度地降低成本

• ±0.0035 Hz 超過 100 ms 采樣

• 以太網(wǎng)通信實(shí)現(xiàn)無縫集成

• 緊湊的尺寸，通過節(jié)省工具空間來最大限度地降低集成成本

• 專家應(yīng)用支持，能夠討論獨(dú)特的應(yīng)用需求，并提供比競爭對手更大的支持

• 符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)

典型應(yīng)用

• 半導(dǎo)體制造

• 發(fā)光二極管應(yīng)用