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      • 深圳市科銳詩(shī)汀科技有限公司
        聯(lián)系人:劉曙東
        手 機(jī):13926558058
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        MKS質(zhì)量流量計(jì)
        180A ALTAMKS數(shù)字型金屬密封流量計(jì)

        如有疑問(wèn),請(qǐng)與我們聯(lián)系!服務(wù)熱線(xiàn):0755-260289900755-26028990

        產(chǎn)品詳情

        180A ALTATM180A ALTAMKS數(shù)字型金屬密封流量計(jì)的詳細(xì)資料:

        180A ALTAMKS數(shù)字型金屬密封流量計(jì)全數(shù)字MKS ALTA質(zhì)量流量計(jì)在功能和性能上做了技術(shù)改進(jìn),幫助用戶(hù)在半導(dǎo)體行業(yè),真空鍍膜行業(yè)增加產(chǎn)量,降低系統(tǒng)成本,更好的與腔體匹配。ALTA改進(jìn)性能準(zhǔn)確度到1%。減少M(fèi)FMS庫(kù)存數(shù)量,ALTA代表MKS持續(xù)致力于幫助客戶(hù)提高生產(chǎn)效率,降低系統(tǒng)成本。

        180A ALTAMKS數(shù)字型金屬密封流量計(jì)選型

        例如:180A00411CR36MXX選型

        前綴

        編碼

        180A Analog

        180A

        氣體選擇


        Helium, He

        001

        Argon, Ar

        004

        Hydrogen, H2

        007

        Nitrogen, N2

        013

        Oxygen, 02

        015

        流量選擇(最大30000 N2當(dāng)量)


        10

        11C

        20

        21C

        50

        51C

        100

        12C

        200

        22C

        500

        52C

        1000

        13C

        2000

        23C

        5000

        53C

        10000

        14C

        20000

        24C

        接口法蘭選擇(兼容)


        Swagelok? 4 VCR? male

        R

        1/4" Swagelok(兼容) Compression

        S

        C密封

        C

        W密封

        H

        閥門(mén)選擇


        沒(méi)有閥門(mén)

        3

        模擬接口


        9針“D”類(lèi)型

        A

        15針“D”類(lèi)型(MKS)

        B

        15針“D”類(lèi)型(交替)

        E

        Profibus

        4

        DeviceNet

        6

        密封選擇


        金屬密封

        M

        版本-唯一總線(xiàn)適配器


        除了客戶(hù)指定,MKS公司將給當(dāng)前的版本

        XX

        可選配件


        ALTA數(shù)字軟件用戶(hù)界面工具包(單證)


        模擬量I/O版本,USB通信,USB端口鍵**

        1037539-001

        模擬量I/O版本,USB通信,并行端口**

        1037539-002

        模擬量I/O版本,RS-232通信,USB鍵**

        133730-G1

        模擬量I/O版本,RS-232通信,并行端口鍵**

        133730-G2

        USB端口的PC DeviceNet版本***

        133900-G1

        與PC機(jī)并行端口的DeviceNet版本***

        133900-G2

        更換USB端口鍵

        133897-G1

        更換并行端口鍵

        133897-G2

        180A接線(xiàn)方式


        使用USB電纜數(shù)字ALTA MFC轉(zhuǎn)換器組件

        模擬量I / O接口與PC機(jī)(包含在1037539套件內(nèi))

        1037538-001

        電纜使用MKS 246 / 247電子數(shù)字ALTA 15針D

        模擬量I/O接口(XX表示所需長(zhǎng)度,例如CB1480-1-10)

        CB1480-1-XX

        RS-232電腦延伸電纜10英尺(包含在133730套件內(nèi))

        095-103377

        RS-232電纜用于ALTA MFC模擬數(shù)字轉(zhuǎn)換器組件

        模擬量I/O接口與PC機(jī)(包含在133730套件內(nèi))

        134566-G1

        *附加氣碼,接觸應(yīng)用工程。

        *套件包括電腦轉(zhuǎn)換器組件的電纜和一個(gè)RS-232或USB延長(zhǎng)線(xiàn)

        ***客戶(hù)必須提供DeviceNet接口卡,硬件,和電纜


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