1479A

1479A

氣體選擇

Helium, He

001

Argon, Ar

004

Hydrogen, H2

007

Nitrogen, N2

013

Oxygen, 02

015

流量選擇

10

11C

20

21C

50

51C

100

12C

200

22C

500

52C

1000

13C

2000

23C

5000

53C

10000

14C

20000

24C

接口法蘭選擇

標(biāo)準(zhǔn)Swagelok 4VCR 公頭

R

可選擇VCO管

G

可選擇Swagelok 1／4”管

S

C-密封表面支架如SEMI2787.1

C

W-密封表面支架如SEMI2787.3F

H

閥門選擇

通常情況關(guān)閉

1

電通訊連接方式

模擬接口

9針“D”類型

A

15針“D”類型

B

20針“D”類型

C

數(shù)字接口

RS-485

5

DeviceNetTM

6

密封選擇

金屬，在200sccm以下流量的用Kel-F閥塞，在500sccm以上的用杜邦閥塞

M

版本-唯一總線適配器

N

除了客戶指定，MKS公司將給當(dāng)前的版本

B