多氣體，多量程，金屬密封，50-50,000 sccm的質(zhì)量流量控制器

GM50A和GM51A數(shù)字控制質(zhì)量流量控制器可提供模擬量或RS485，Profibus?，EtherCAT?，PROFINET或DeviceNet?I / O。數(shù)字控制電子器件利用最新的MKS控制算法，可在整個(gè)設(shè)備控制范圍內(nèi)對(duì)設(shè)定點(diǎn)進(jìn)行快速，可重復(fù)的響應(yīng)。典型的響應(yīng)時(shí)間約為500毫秒。數(shù)字校準(zhǔn)可在校準(zhǔn)氣體上產(chǎn)生設(shè)定點(diǎn)精度的1％。

·        流量從5到50,000 sccm

·        金屬密封，帶特氟龍閥塞

·        多種數(shù)字（ItherCAT，DeviceNet?，Profibus?，PROFINET和RS485）或模擬（0-5 VDC或4-20 mA）I / O

·        標(biāo)準(zhǔn)閉合電導(dǎo)泄漏率小于滿量程的1.0％

·        少于750毫秒的建立時(shí)間

技術(shù)指標(biāo)

特征

多種數(shù)字和模擬接口選擇

GM50A數(shù)字控制MFC具有模擬或數(shù)字I / O。數(shù)字控制電子器件采用最新的MKS控制算法，可在整個(gè)設(shè)備控制范圍內(nèi)對(duì)設(shè)定點(diǎn)提供快速，可重復(fù)的響應(yīng)。典型的響應(yīng)時(shí)間約為500毫秒。GM50A的模擬和數(shù)字I / O可以輕松用來代替1179A MFC的相同I / O類型。所有GM50A均包含Modbus作為可用的輔助I / O（不包括PROFINET?和EtherCAT?）。

標(biāo)準(zhǔn)3英寸占地面積

GM50A利用MFC最常使用的標(biāo)準(zhǔn)3英寸占地面積，流量范圍為5sccm至50 slm，從而無需修改現(xiàn)有的氣體管線配置即可使用。

金屬密封

GM50A金屬密封MFC具有10 μ英寸電拋光316L表面光潔度，使該質(zhì)量流量控制器可用于高純度應(yīng)用。

設(shè)定值精度的百分比

附帶的數(shù)字校準(zhǔn)可在全量程流量范圍的20％至100％的情況下使用N2校準(zhǔn)氣體提供1％的設(shè)定點(diǎn)精度。設(shè)定點(diǎn)精度可實(shí)現(xiàn)精確的過程控制，相對(duì)于相對(duì)于滿量程的精度。當(dāng)質(zhì)量流量為滿刻度的2至20％時(shí)，精度為滿刻度的±0.2％。

嵌入式用戶界面

嵌入式用戶界面提供了輕松更改設(shè)備范圍和用戶氣體的能力，從而減少了庫存需求。您還可以監(jiān)視MFC功能并就地收集性能數(shù)據(jù)。

專利溫度傳感器

經(jīng)過驗(yàn)證的專利熱傳感器設(shè)計(jì)可提供出色的零穩(wěn)定性。美國專利號(hào)5461913。