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· 流速從100到250 slm
· Viton，Buna，氯丁橡膠或EPDM的密封件和閥塞選件
· 1-2秒建立時間
· 標(biāo)準(zhǔn)閉合電導(dǎo)泄漏率小于滿量程的1.0％
滿量程流量范圍 | 100-250 slm（相當(dāng)于N2） | 儲存濕度 | 0至95％相對濕度，無凝結(jié) |
最大入口壓力 | 150磅/平方英寸 | 貯存溫度 | -20°至65°C |
正常工作壓力差 | 30至55 psid | 外部泄漏完整性 | <1 x 10 -9（scc / sec He） |
爆破壓力 | 1500磅/平方英寸 | 封閉閥的泄漏完整性 | 在40 psia至vac時<1.0％滿量程（<500 mTorr） |
控制范圍 | 滿量程的2％至100％ | 濕材料 | 316 SS，17-1 SS，Elgiloy，430FR（標(biāo)準(zhǔn)） |
典型精度 | 滿量程的20％至100％時為設(shè)定值的±1％ | 密封材料 | Viton?（VI級）或EPDM（VI級） |
重復(fù)性 | 讀數(shù)的±0.5％ | 表面處理 | 平均Ra 16 μinch |
解析度 | 讀數(shù)的0.1％ | 重量 | 4.5磅 （2.05公斤） |
零溫度系數(shù) | <滿量程的0.05％/°C | 外殼等級 | IP66 |
跨度溫度系數(shù) | <0.08％的Rdg./°C | 合規(guī) | CE認(rèn)證 |
進(jìn)氣壓力系數(shù) | <讀數(shù)的0.03％ | 電源要求 | +15至+24 VDC @（<4瓦） |
典型建立時間 | 通常在50 psi的10％滿刻度以上需要1到2秒 | 流量輸入輸出信號 | 電壓：0至5 VDC |
熱身時間 | 1小時 | 模擬量I / O連接器 | 電壓：15針“ D”型公頭 |
工作溫度 | 10°至50°C |
1至2秒的穩(wěn)定時間和低于設(shè)定點(diǎn)1％的設(shè)定點(diǎn)精度優(yōu)于其他典型的高流量質(zhì)量流量控制器。精確控制保持在IE250A配置的滿量程流量范圍的2％。多氣體/多量程功能，以及針對精度，控制范圍和瞬態(tài)響應(yīng)的嚴(yán)格性能規(guī)格，使用戶可以最大程度地減少高流量MFC零件編號的庫存。
可通過MFC的嵌入式診斷界面訪問多氣體/多量程功能（以及其他自定義控件），而無需任何特殊的軟件或硬件即可操作。所有需要的工具都是標(biāo)準(zhǔn)的以太網(wǎng)電纜和支持JAVA的HTML瀏覽器。典型的高流量氣體的關(guān)鍵氣體參數(shù)已存儲在設(shè)備中。配置設(shè)備僅是從下拉菜單中選擇氣體并指定所需的滿量程流量范圍。診斷界面還允許用戶執(zhí)行常規(guī)設(shè)備運(yùn)行狀況檢查，繪制流量響應(yīng)并存儲操作數(shù)據(jù)以進(jìn)行離線分析。
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