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深圳市寶安區(qū)西鄉(xiāng)街道勞動社區(qū)西鄉(xiāng)大道和寶源路交匯處中央大道B座（寫字樓）6I
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特點及應用：
?操作簡單
?可靠，方便
?在線原位分析真空環(huán)境及工藝氣體
?定性或定量分析監(jiān)測濺射鍍膜反應工藝過程中真空室內的氣體分壓強
?優(yōu)化工藝過程參數，提高鍍膜產品質量
?對真空系統(tǒng)檢漏
在工藝中的效果
?改善質量
?提高流片量
?減少停機時間
?改進工藝
?縮小工藝周期
?降低成本
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