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SVACFilmLab-B 箱式鍍膜機(jī)
規(guī)格參數(shù)：
真空系統(tǒng)配置：分子泵、機(jī)械泵、插板閥
最大樣品尺寸：6英寸
外形尺寸：1400×900×2000mm
可集成電子束、熱蒸發(fā)、磁控濺射等多個(gè)沉積模塊。
PLC/觸摸屏控制。
真空腔室尺寸：Φ400-500mm
極限真空：小于5×10-5Pa。
上一個(gè): 沒有了！
上一個(gè): SVAC-FilmLab-T臺(tái)式鍍膜設(shè)備
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