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SVAC-FilmLab-T臺(tái)式鍍膜設(shè)備
真空系統(tǒng)配置：分子泵、機(jī)械泵、插板閥。
最大樣品尺寸：6英寸。
外形尺寸：850mm*700mm*1600mm/可定制。
可集成熱蒸發(fā)、磁控濺射等沉積模塊。
開門方式：前開門或上開門。
支持獨(dú)立控制柜。
真空腔室尺寸：Φ350-450mm。
極限真空：小于5×10-5Pa。
上一個(gè): SVACFilmLab-B 箱式鍍膜機(jī)
上一個(gè): SVAC-FilmLab-G帶手套箱式鍍膜設(shè)備
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